| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/681580022 |
| Дата корректировки | 15:56:01 6 августа 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2017.09.44884.8543 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Астрова, Е. В. | |
|
Высокотемпературный отжиг макропористого кремния в потоке инертного газа Электронный ресурс |
|
| High-temperature annealing of macroporous silicon in inert gas flow | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 27 назв. |
| Аннотация | Интерес к спеканию макропористого кремния обусловлен возможностью целенаправленно изменять его структуру. Проведение спекания макропористых структур в атмосфере аргона вместо водорода упрощает требования к оборудованию и технике безопасности. В настоящей работе исследовано спекание макропористого кремния, происходящее в результате отжига при T = 1000-1280°C в горизонтальной трубе, продуваемой газами высокой чистоты: Ar или Ar + 3%H[2]. Эксперименты проводились на слоях с глубокими цилиндрическими макропорами, изготовленными с помощью электрохимического травления образцов с затравочными ямками на поверхности (упорядоченные поры) и без таковых (случайные поры). Морфология пористой структуры и происходящие в ней изменения после отжига изучались с помощью электронного и оптического микроскопов. Показано, что в зависимости от диаметра пор и температуры обработки происходит сглаживание поверхности пор, закрытие пор и образование поверхностной корки, сфероидизация и распад цилиндрических пор на отдельные полые сферы, появление тонкой структуры и огранки. Показано, что минимальной поверхностной энергией обладают плоскости (111). Обнаружено, что при отжиге макропористого кремния в атмосфере инертного газа происходит интенсивное термическое травление, что проявляется в увеличении пористости или даже полном исчезновении пористого слоя на краю образца. Кроме того, при отжиге, особенно в области низких температур, наблюдается появление окисного налета в виде пленки, шариков или длинных нитей, образующих стекловату. Наблюдавшиеся особенности объясняются наличием в инертном газе следов окислителя, приводящего к образованию легко летучего SiO и продуктов реакции с его участием. |
| Ключевые слова | макропористый кремний |
|
высокотемпературный отжиг массоперенос термическое травление транспорт атомов спекание макропористых структур инертный газ |
|
|
Преображенский, Н. Е. Павлов, С. И. Воронков, В. Б. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2017 Т. 51, вып. 9. - С. 1202-1212 |
|
| Имя макрообъекта | Астрова_высокотемпературный |
| Тип документа | b |
