Поиск

Тонкие пленки CeB[6], полученные методом электронно-лучевого напыления на различных подложках

Авторы: Кузанян, А. А. Кузанян, А. С. Бадалян, Г. Р. Петросян, С. И. Варданян, В. О. Гурин, В. Н. Волков, М. П. Пилосян, С. Х.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/681478572
Дата корректировки 11:39:31 5 августа 2021 г.
10.21883/FTP.2017.08.44783.52
Служба первич. каталог. Шавель
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.315.592
Кузанян, А. А.
Тонкие пленки CeB[6], полученные методом электронно-лучевого напыления на различных подложках
Электронный ресурс
Thin films of CeB[6] obtained by electron beam deposition on different substrates
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил., табл.
Библиография Библиогр.: 8 назв.
Аннотация Методом электронно-лучевого напыления получены пленки гексаборида церия - материала, перспективного для использования в термоэлектрических устройствах при гелиевых температурах. Напыление проводили с керамических мишеней на диэлектрические, полупроводниковые и металлические подложки при различных температурах. Подробно исследованы микроструктура, элементный и фазовый составы, температурные зависимости удельного сопротивления и коэффициента Зеебека. Получены пленки со структурой CaB[6], характерной для гексаборида церия, и элементным составом, близким к стехиометрическому. При низких температурах пленки имеют удельное сопротивление несколько больше, а коэффициент Зеебека близок к значениям для монокристаллических образцов. Основной причиной различия величин удельного сопротивления является обнаруженная в пленках большая концентрация примеси кислорода.
Ключевые слова гексаборид церия
пленки гексаборида церия
тонкие пленки
электронно-лучевое напыление
диэлектрические подложки
полупроводниковые подложки
металлические подложки
удельное сопротивление
коэффициент Зеебека
Кузанян, А. С.
Бадалян, Г. Р.
Петросян, С. И.
Варданян, В. О.
Гурин, В. Н.
Волков, М. П.
Пилосян, С. Х.
Физика и техника полупроводников
2017
Т. 51, вып. 8. - С. 1041-1043
Имя макрообъекта Кузанян_тонкие
Тип документа b