| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/680974648 |
| Дата корректировки | 16:03:47 30 июля 2021 г. |
| 10.21883/FTT.2019.10.48274.455 | |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Тамбасов, И. А. | |
|
Структурные, оптические и термоэлектрические свойства тонких ZnO : Al пленок, полученных атомно-слоевым осаждением Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 33 назв. |
| Аннотация | Тонкие пленки оксида цинка легированного алюминием были выращены с помощью атомно-слоевого осаждения при температуре 200°С. С помощью рентгеновской дифракции было обнаружено, что тонкие ZnO : Al пленки имеют пики от плоскостей (100), (002), (110) и (201) гексагональной фазы ZnO. Плоскости (101) и (102) были обнаружены также с помощью электронной дифракции. Тонкие ZnO : Al пленки растут гладкими со среднеквадратичной шероховатостью R[q] равной 0.33 nm и характерными размерами нанокристаллита ~ 70 и ~ 15 nm без дополнительных фаз связанных с алюминием или оксидами алюминия. Пропускание на длине волны 550 nm с учетом подложки составляло ~ 96%. Были найдены коэффициенты преломления и поглощения тонких ZnO:Al пленок в диапазоне длин волн 250-900 nm. Максимальные значения для коэффициентов преломления и поглощения были 2.09 на длине волны 335 nm и 0.39 на длине волны 295 nm соответственно. Оптическая ширина запрещeнной зоны составляла 3.56 eV. Удельное сопротивление, коэффициент Зеебека и фактор мощности тонких ZnO:Al пленок составляли ~ 1.02 · 10{-3} Ohm · cm, ~ -60 мю V/K и 340 мю W · m{-1} · K{-2} при комнатной температуре соответственно. Максимальный фактор мощности достигал 620 мю W· m{-1} · K{-2} при температуре 200°C. |
| Ключевые слова | пленки |
|
тонкие пленки оксид цинка легирование алюминием атомно-слоевое осаждение структурные свойства оптические свойства термоэлектрические свойства |
|
| Другие авторы | Волочаев, М. Н. |
|
Воронин, А. С. Евсевская, Н. П. Масюгин, А. Н. Александровский, А. С. Смолярова, Т. Е. Немцев, И. В. Лященко, С. А. Бондаренко, Г. Н. Тамбасова, Е. В. |
|
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 61, вып. 10. - С. 1941-1947 |
| Имя макрообъекта | Тамбасов_структурные |
| Тип документа | b |
