| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/680626476 |
| Дата корректировки | 14:59:14 26 июля 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2017.07.44631.17 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Демидов, Е. В. | |
|
Измерение толщины блочных пленок висмута методом атомно-силовой микроскопии с применением избирательного химического травления Электронный ресурс |
|
| The thickness measurement of the bismuth films with block structure by atomic force microscopy with the help of selective chemical etching | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 12 назв. |
| Аннотация | С использованием атомно-силовой микроскопии и избирательного химического травления предложен способ измерения толщины блочных пленок. Предложенный способ апробирован для тонких пленок висмута на слюде, полученных методом термического испарения в вакууме. |
| Ключевые слова | висмут |
|
блочные пленки висмута атомно-силовая микроскопия химическое травление избирательное химическое травление узкозонные полупроводники полупроводники |
|
|
Комаров, В. А. Крушельницкий, А. Н. Суслов, А. В. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2017 Т. 51, вып. 7. - С. 877-879 |
|
| Имя макрообъекта | Демидов_измерение |
| Тип документа | b |
