| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/680188591 |
| Дата корректировки | 13:29:58 21 июля 2021 г. |
| 10.21883/FTT.2019.07.47845.386 | |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Орлов, Л. К. | |
|
Микрокристаллическая структура и светоизлучающие свойства 3C-SiC островковых пленок, выращиваемых на поверхности Si(100) Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 47 назв. |
| Аннотация | Изучаются особенности кристаллической структуры и светоизлучающие свойства островковых 3C-SiC пленок, выращиваемых при пониженных температурах на поверхности Si(100) методом вакуумной химической эпитаксии с использованием водородсодержащих соединений. Методами микроскопии прослеживается характер зарождения, механизмы роста нанокристаллической текстуры микроостровков, а также влияние на форму зарождающихся островков упругих напряжений, накапливаемых на поверхности растущей карбидной пленки. Проведено сопоставление спектров катодолюминесценции от поверхностного карбидизированного слоя Si и от различных участков отдельного 3C-SiC островка. Обсуждаются возможные механизмы появления в наблюдаемых спектрах эпитаксиальных структур дополнительных спектральных линий, сдвинутых относительно основного пика в красную и ультрафиолетовую области спектрального диапазона. Ранее эти полосы излучения обнаруживались только в спектрах люминесценции SiC нанокристаллитов, встраиваемых в различные (чаще всего SiO[2]) матрицы. Сопоставительный анализ поведения линий в наблюдаемых люминесцентных спектрах не показал заметного влияния размеров формируемых поверхностных нанокристаллитов на их положение, но продемонстрировал их явную зависимость от содержания кислорода на границе между 3C-SiС слоем и кремниевой подложкой. |
| Ключевые слова | пленки |
|
островковые пленки микрокристаллическая структура светоизлучающие свойства |
|
| Другие авторы | Вдовин, В. И. |
| Ивина, Н. Л. | |
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 61, вып. 7. - С. 1322-1330 |
| Имя макрообъекта | Орлов_микрокристаллическая |
| Тип документа | b |
