Индекс УДК | 621.315.592 |
Многослойные фоточувствительные структуры на основе пористого кремния и соединений редкоземельных элементов: исследования спектральных характеристик Электронный ресурс |
|
Аннотация | Исследованы спектральные характеристики коэффициента зеркального отражения, фоточувствительности и фотолюминесценции многослойных структур на основе пористого кремния с ионами редкоземельных элементов. Показано, что фоточувствительность таких структур в диапазоне длин волн 0.4-1.0 мкм повышена по сравнению со структурами без редкоземельных элементов. Структуры с ионами Er{3+} проявляют люминесцентные свойства при комнатной температуре в спектральном диапазоне от 1.1 до 1.7 мкм. Спектр фотолюминесценции эрбиевой примеси представлен тонкой структурой линий, отражающих структуру расщепления мультиплета {4}I[15/2] иона Er{3+}. Показано, что структуры с пористым слоем на рабочей поверхности имеют значительно более низкий коэффициент отражения во всем измеряемом спектральном диапазоне 0.2-1.0 мкм. |
Ключевые слова | пористый кремний |
Физика и техника полупроводников 2017 Т. 51, вып. 3. - С. 367-371 |
|
Имя макрообъекта | Кирсанов_многослойные |