| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/679055119 |
| Дата корректировки | 10:38:38 8 июля 2021 г. |
| 10.21883/FTT.2019.04.47418.319 | |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Щербаков, И. П. | |
|
Фотолюминесценция аморфного SiO[2], подвергнутого имплантации ионов Ar{+} Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 25 назв. |
| Аннотация | Имплантация ионов в аморфный диоксид кремния (a-SiO[2]) широко применяется в микроэлектронике (преимущественно ионов Si) и производстве световедущих компонентов световодов (ионы Ge, P, B). Все перечисленные элементы взаимодействуют с кислородом матрицы, поэтому точечные дефекты, возникающие при имплантации, являются не только результатом смещения атомов кремний-кислородного каркаса из равновесных положений, но также отражают специфику химического взаимодействия в материале. В настоящем исследовании в пластины диоксиды кремния имплантировались ионы инертного Ar, что исключало химические реакции. Методом фотолюминесценции (ФЛ) показано, что наиболее высокая концентрация точечных дефектов в поврежденной силикатной сетке принадлежит вакансиям нейтрального кислорода (NOV). Концентрация этих и ряда других наведенных дефектов росла при увеличении флюенса до 5 · 10{15} Ar{+}/cm{2}, а при дальнейшем увеличении дозы концентрация падала вследствие отжига дефектов в нагретом внедрением ионов слое. Дефекты NOV проявились в спектре ФЛ в виде дублетов, то есть пар полос, принадлежащих к одному и тому же оптическому переходу. Возникновение дублетов объяснено зависимостью энергии оптического перехода от локализации одинаковых точечных дефектов в зонах различных искажений строения матрицы. |
| Ключевые слова | диоксид кремния |
|
аргон ионы аргона имплантация ионов фотолюминесценция диоксида кремния |
|
| Другие авторы | Чмель, А. Е. |
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 61, вып. 4. - С. 715-718 |
| Имя макрообъекта | Щербаков_фотолюминесценция |
| Тип документа | b |
