| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/678893744 |
| Дата корректировки | 13:57:58 6 июля 2021 г. |
| 10.21883/FTT.2019.03.47256.296 | |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Бойков, Ю. А. | |
|
Диэлектрические параметры упруго напряженных, гетероэпитаксиальных пленок SrTiO[3] Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 15 назв. |
| Аннотация | Методом лазерного испарения на монокристаллических подложках (001)La[0.29]Sr[0.71]Al[0.65]Ta[0.35]O[3] выращены трехслойные эпитаксиальные гетероструктуры SrRuO[3]/SrTiO[3]/SrRuO[3] с толщиной промежуточного слоя титаната стронция 900 nm. Фотолитография и ионное травление были использованы для формирования на базе выращенных гетероструктур плоскопараллельных пленочных конденсаторов, для которых измерены температурные зависимости тангенса угла диэлектрических потерь при различном напряжении смещения, поданном на электроды из рутената стронция. Визуализированы температурные зависимости диэлектрической проницаемости промежуточного слоя SrTiO[3] в сформированных конденсаторных структурах при компенсации внутреннего электрического поля и без неe. Проведен анализ причин резкого увеличения диэлектрических потерь в сформированных пленочных конденсаторах при температурах ниже 50 K. |
| Ключевые слова | пленки |
|
гетероэпитаксиальные пленки титанат стронция диэлектрические потери температурные зависимости |
|
| Другие авторы | Данилов, В. А. |
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 61, вып. 3. - С. 594-597 |
| Имя макрообъекта | Бойков_диэлектрические |
| Тип документа | b |
