| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Аноды для литий-ионных аккумуляторов на основе p-Si с самоорганизующимися макропорами Электронный ресурс |
|
| Аннотация | Практическое применение технологии электрохимического травления монокристаллического кремния для изготовления микроструктурированных анодов сдерживает их себестоимость. Предлагаемый подход позволит сократить издержки за счет: снижения требований к качеству исходного материала путем замены n-Si на p-Si, исключения операций по формированию затравочных центров и многократного использования кремниевой подложки. В работе проведены исследования процесса образования неупорядоченных макропор в p-Si (100) с удельным сопротивлением 10-20Ом · см в 4%-м растворе плавиковой кислоты в диметилформамиде и определен вклад в него химического растворения кремния. Получены зависимости от плотности тока для скорости анодирования, морфологии пористых слоев, эффективной валентности, числа пор на единицу поверхности и средних значений диаметра пор. Разработана технология формирования пористых слоев толщиной ~ 50 мкм и пористостью ~ 70%, сочетающая возможность последовательного отделения нескольких мембран от одной и той же подложки. Исследованы электрохимические характеристики анодов, изготовленных из этих мембран, и проведено 120[+] циклов испытаний при токе заряда/разряда 0.2А/г в режиме ограничения зарядной емкости величиной 1000 мА · ч/г. |
| Ключевые слова | аноды |
|
Физика и техника полупроводников 2017 Т. 51, вып. 1. - С. 79-88 |
|
| Имя макрообъекта | Преображенский_аноды |
