| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Исследование параметров наноразмерного слоя в наногетероструктурах на основе полупроводниковых соединений A{II}B{VI} Электронный ресурс |
|
| Аннотация | Методами локальной катодолюминесценции и рентгеноспектрального микроанализа проведено комплексное исследование широкозонных наногетероструктур на основе ZnSe, полученных методом молекулярно-пучковой эпитаксии. Было показано, что используемые методы позволяют неразрушающим способом определять глубину залегания, элементный состав и геометрические параметры наноразмерного слоя ZnCdSe. Точность результатов контролировалась методом просвечивающей электронной микроскопии. Методики исследования основаны на возможности варьирования энергии первичного электронного пучка, что приводит к изменению областей генерации характеристического рентгеновского излучения и катодолюминесценции. |
| Ключевые слова | наногетероструктуры |
|
Физика и техника полупроводников 2017 Т. 51, вып. 1. - С. 56-62 |
|
| Имя макрообъекта | Караваев_исследование |
