Поиск

Структурные и электрические характеристики двухслойных тонких пленок Bi[4]Ti[3]O[12]/(Ba,Sr)TiO[3], осажденных на кремниевую подложку методом высокочастотного распыления при повышенных давлениях кислорода

Авторы: Анохин, А. С. Бирюков, С. В. Головко, Ю. И. Мухортов, В. М.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/676041928
Дата корректировки 14:16:10 3 июня 2021 г.
10.21883/FTT.2019.02.47126.179
Служба первич. каталог. Войтик
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 539.21
Анохин, А. С.
Структурные и электрические характеристики двухслойных тонких пленок Bi[4]Ti[3]O[12]/(Ba,Sr)TiO[3], осажденных на кремниевую подложку методом высокочастотного распыления при повышенных давлениях кислорода
Электронный ресурс
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 25 назв.
Аннотация Приведены результаты исследования тонких пленок Bi[4]Ti[3]O[12] толщиной 400-450 nm с различной ориентацией кристаллитов относительно нормали к плоскости подложки (100)Si. Установлено, что ориентацией кристаллитов можно управлять, варьируя состав подслоя Ba[x]Sr[1-x] TiO[3] толщиной 4 nm. Использование Ba[0.4]Sr[0.6]TiO[3] в качестве подслоя приводит к росту пленки Bi[4]Ti[3]O[12] в монокристаллическом состоянии с плоскостью (001) параллельной плоскости подложки и с моноклинным искажением кристаллической структуры. Показано, что подслой Ba[0.8]Sr[0.2]TiO[3] приводит к формированию в пленке Bi[4]Ti[3]O[12] четырех ориентаций кристаллитов: (111), (117), (100) и (110) и к образованию в пленке двух групп доменов. Первая - с направлением поляризации перпендикулярно подложке и вторая - с поляризацией, направленной в интервале углов 45.2-57° относительно нормали к подложке. Показано, что в пленке Bi[4]Ti[3]O[12] с подслоем Ba[0.8]Sr[0.2]TiO[3] поляризация направлена к подложке и переключается в новое устойчивое состояние с направлением поляризации от подложки при приложении внешнего напряжения больше критического (4V).
Ключевые слова пленки
двухслойные пленки
двухслойные тонкие пленки
монокристаллические пленки
структура двухслойных тонких пленок
электрические свойства
высокочастотное распыление
Другие авторы Бирюков, С. В.
Головко, Ю. И.
Мухортов, В. М.
Название источника Физика твердого тела
Место и дата издания 2019
Прочая информация Т. 61, вып. 2. - С. 278-283
Имя макрообъекта Анохин_структурные
Тип документа b