Поиск

Исследование свойств двумерных пленок МоS[2] и WS[2] , синтезированных химическим газофазным методом

Авторы: Смагулова, С. А. Семёнова, А. А. Винокуров, П. В. Семенова, А. А. Попова, Е. И. Васильева, Ф. Д. Образцова, Е. Д. Федотов, П. В. Антонова, И. В.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Исследование свойств двумерных пленок МоS[2] и WS[2] , синтезированных химическим газофазным методом
Электронный ресурс
Аннотация В данной работе были синтезированы пленки дисульфида молибдена и дисульфида вольфрама методом химического газового осаждения (CVD). Найден набор оптимальных параметров синтеза (температура, время, количество и соотношение прекурсоров), которые позволяют выращивать домены МоS[2] c максимальными латеральными размерами до 250 мкм на сапфире, и домены МоS[2] и WS[2] до 80 мкм на SiO[2]. В результате сращивания доменов были получены однородные однослойные пленки МоS[2]. Спектры комбинационного рассеяния света синтезированных пленок имеют два характерных пика, соответствующих колебаниям атомов в MoS[2] и WS[2]. Обнаружена фотолюминесценция однослойных и двухслойных пленок МоS[2] с максимумом интенсивности фотолюминесценции на 670 ± 2 нм и однослойных пленок WS[2] с максимумом на 630 ± 2 нм. Измерены спектральные карты фотолюминесценции, зависимость интенсивности фотолюминесценци от длины волны люминесценции и от длины волны возбуждающего света. Согласно измерениям спектр возбуждения фотолюминесценци МоS[2] имеет максимум на 350 ± 5нм, а возбуждения фотолюминесценци WS[2] - максимум на 330 ± 5 нм. Вольт-амперные характеристики синтезированных пленок являются фоточувствительными в видимой области спектра.
Ключевые слова графен
Физика и техника полупроводников
2020
Т. 54, вып. 4. - С. 376-387
Имя макрообъекта Смагулова_исследование