| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Влияние акцепторной примеси бериллия на оптические свойства монокристаллического AlN Электронный ресурс |
|
| Аннотация | Исследовано влияние высокотемпературной (T = 1880°C) диффузии ионов бериллия на свойства монокристаллического нитрида алюминия. Показано, что постростовое легирование AlN бериллием приводит к компенсации мелких донорных центров кремния, входящих в решетку AlN неконтролируемым образом в ходе роста. Установлено, что введение Be в решетку AlN приводит к снижению оптического поглощения последнего в видимом и ультрафиолетовом диапазонах. Совокупность результатов объясняется сдвигом положения уровня Ферми, вызванным введением акцепторной примеси бериллия, в сторону потолка валентной зоны AlN. |
| Ключевые слова | нитрид алюминия |
|
Физика и техника полупроводников 2020 Т. 54, вып. 3. - С. 224-227 |
|
| Имя макрообъекта | Мохов_влияние |
