Поиск

Влияние напряжения смещения и скорости осаждения на структуру и коэрцитивность пленок NiFe

Авторы: Джумалиев, А. С. Высоцкий, С. Л. Сахаров, В. К.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/675515134
Дата корректировки 11:48:20 28 мая 2021 г.
10.21883/FTT.2020.12.50221.163
Служба первич. каталог. Войтик
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 539.21
Джумалиев, А. С.
Влияние напряжения смещения и скорости осаждения на структуру и коэрцитивность пленок NiFe
Электронный ресурс
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 20 назв.
Аннотация Исследовано влияние напряжения смещения U[b] и скорости осаждения ню на структуру, размер зерна D и коэрцитивность H[c] пленок NiFe толщиной d от 30 до 980 nm, выращенных на подложках Si/SiO[2] магнетронным распылением на постоянном токе. В случае U[b] = 0, снижение ню от значений ню приблизительно равного 27 nm/min до ню приблизительно равного 7 nm/min сопровождается ростом значений критической толщины пленок d[cr] от d[cr] приблизительно равного 220nm до d[cr] приблизительно равного 270 nm. При этом H[c] в пленках c d < d[cr] характеризуется зависимостью H[c] ~ D{6} и меняется от ~ 1 до 20 ~ Oe. В случае U[b] = -100 V влияние скорости осаждения на коэрцитивность гораздо заметнее. При ню = 7 и 14 nm/min пленки демонстрируют магнитомягкие свойства (H[c] приблизительно равно 0.15-1.4Oe) и отсутствие d[cr] для всего диапазона исследованных толщин. Пленки, полученные при ню = 21 и 27 nm/min, переходят в "закритическое" состояние при d > или = d[cr] приблизительно равно 520 nm, а в области d < d[cr] характеризуются зависимостью H[c] ~ D{3} и ростом коэрцитивности от ~ 0.35 до ~ 10 Oe.
Ключевые слова пленки
магнитомягкие пленки
структура пленок
коэрцитивность пленок
Другие авторы Высоцкий, С. Л.
Сахаров, В. К.
Название источника Физика твердого тела
Место и дата издания 2020
Прочая информация Т. 62, вып. 12. - С. 2174-2179
Имя макрообъекта Джумалиев_влияние напряжения
Тип документа b