Применение высокочастотной ЭПР спектроскопии для идентификации и разделения позиций азота и ванадия в кристаллах и гетероструктурах карбида кремния - Статьи - Базы данных - БГТУ

Применение высокочастотной ЭПР спектроскопии для идентификации и разделения позиций азота и ванадия в кристаллах и гетероструктурах карбида кремния

Авторы: Единач, Е. В. Криворучко, А. Д. Гурин, А. С. Музафарова, М. В. Ильин, И. В. Бабунц, Р. А. Романов, Н. Г. Бадалян, А. Г. Баранов, П. Г.

Подробная информация

Индекс УДК	621.315.592
	Применение высокочастотной ЭПР спектроскопии для идентификации и разделения позиций азота и ванадия в кристаллах и гетероструктурах карбида кремния Электронный ресурс
Аннотация	Показано преимущество высокочастотной спектроскопии электронного парамагнитного резонанса для идентификации доноров азота и глубокой компенсирующей примеси ванадия в различных кристаллографических позициях кристалла карбида кремния. Измерения были выполнены на спектрометре электронного парамагнитного резонанса нового поколения, работающем как в непрерывном, так и в импульсном режимах на частотах 94 и 130 ГГц в широком интервале магнитных полей (-7-7Тл) и температур (1.5-300K) с применением магнитооптического криостата замкнутого цикла (Spectormag PT), высокостабильных генераторов (94 и130 ГГц) и безрезонаторной системы подачи микроволновой мощности на образец.
Ключевые слова	электронный парамагнитный резонанс
Другие авторы	Криворучко, А. Д.
	Физика и техника полупроводников 2020 Т. 54, вып. 1. - С. 103-110
Имя макрообъекта	Единач_применение