| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/675428492 |
| Дата корректировки | 11:08:37 27 мая 2021 г. |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Юнин, П. А. | |
|
Формирование сингулярных (001) террас на поверхности монокристаллических HPHT алмазных подложек Электронный ресурс |
|
| Formation of singular (001) terraces on the surface of single-crystal HPHT diamond substrates | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 10 назв. |
| Аннотация | Обсуждаются способы экспериментальной диагностики и управления величиной отклонения плоскости поверхности монокристаллических алмазных HPHT (High Pressure High Temperature) пластин относительно кристаллографических плоскостей (001). Такие пластины (подложки) используются для гомоэпитаксиального выращивания как легированных, так и нелегированных пленок CVD алмаза. При травлении HPHT подложек в плазме СВЧ разряда в чистом водороде либо в водород-кислородной смеси наблюдается формирование сингулярных террас с ориентацией поверхности (001). Это явление может быть использовано как для экспресс-анализа ориентации подложки и повышения точности контроля угла отклонения при шлифовке подложек, так и для получения макроскопических сингулярных (001) участков монокристаллических алмазных подложек. |
| Ключевые слова | сингулярные террасы |
|
монокристаллические алмазные подложки гомоэпитаксиальное выращивание легированные пленки нелегированнын пленки шлифовка подложек |
|
|
Дроздов, Ю. Н. Чернов, В. В. Исаев, В. А. Богданов, С. А. Мучников, А. Б. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2016 Т. 50, вып. 12. - С. 1647-1651 |
|
| Имя макрообъекта | Юнин_формирование |
| Тип документа | b |
