Маркер записи | n |
Контрольный номер | RU/IS/BASE/674909670 |
Дата корректировки | 11:43:54 27 октября 2021 г. |
10.21883/FTT.2020.09.49786.14H | |
Служба первич. каталог. | Войтик |
Код языка каталог. | rus |
Правила каталог. | PSBO |
Код языка издания | rus |
Индекс УДК | 539.21 |
Ильин, А. И. | |
Связь морфологии поверхности тонких пленок YBa[2]Cu[3]O[7-x], полученных импульсным лазерным напылением, с температурой окончания сверхпроводящего перехода Электронный ресурс |
|
Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
Библиография | Библиогр.: 15 назв. |
Аннотация | Обнаружена корреляция между температурой окончания сверхпроводящего перехода T(R = 0) пленок YBa[2]Cu[3]O[7-x] толщиной 100-200 nm, полученных импульсным лазерным напылением на подложки SrTiO[3](100) с температурой ~ 740°С и режимами скоростной фильтрации эрозионного факела, образуемого при абляции материала мишени. В условиях напыления изменяли ширину фильтрующего отверстия, частоту следования прошедшего через фильтр на подложку распыленного материала и плотность энергии излучения эксимерного лазера KrF на поверхности мишени. При скоростях напыления менее 0.1 nm· s{-1} значения T(R = 0) не превышали 77 K и ниже, а поверхность пленок формировали пирамиды высотой до 80 nm вдоль оси c в форме спиралей с прямоугольными основаниями и ступеньками на боковых гранях 1-2 nm. С возрастанием скорости напыления c 0.1 до 0.6 nm · s{-1} T (R = 0) увеличивалась до 86 K. Этим режимам соответствовала волнистая поверхность из пирамид высотой до 40 nm с округлыми основаниями диаметром до 1500 nm и нерегулярными ступеньками 1-4 nm на боковых склонах. Преимущественно по границам между пирамидами за время напыления вырастали ограненные кристаллы шириной в основании от 20-30 до 500 nm. Такой рельеф поверхности роста объяснили высокой скоростью потока распыляемого материала, определяемого частотой фильтрации эрозионного факела и плотностью энергии в импульсе при преимущественно поверхностной диффузии. |
Ключевые слова | пленки |
тонкие пленки оксид иттрия-бария-меди YBCO импульсное лазерное напыление титанат стронция рельеф поверхности |
|
Другие авторы | Трофимов, О. В. |
Иванов, А. А. | |
Название источника | Физика твердого тела |
Место и дата издания | 2020 |
Прочая информация | Т. 62, вып. 9. - С. 1555-1561 |
Имя макрообъекта | Ильин_связь |
Тип документа | b |