Маркер записи | n |
Контрольный номер | RU/IS/BASE/673631189 |
Дата корректировки | 16:06:57 6 мая 2021 г. |
Служба первич. каталог. | Войтик |
Код языка каталог. | rus |
Правила каталог. | PSBO |
Код языка издания | rus |
Индекс УДК | 539.21 |
Sharma, M. | |
Плавление и электромиграция в тонких пленках хрома Электронный ресурс |
|
Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
Библиография | Библиогр.: 20 назв. |
Аннотация | Пленки хрома толщиной 10-40nm, нанесенные на кремниевые подложки при помощи магнетронного осаждения, были подвергнуты воздействию электрического тока, индуцированного зондом атомно-силового микроскопа (АСМ) в воздушной среде при нормальных условиях. Плавление на наноуровне, миграция материала, вызванная электрическим током и химическая реакция окисления хрома были исследованы с помощью оптической и сканирующей электронной микроскопии (СЭМ), атомной силовой микроскопии (АСМ) и спектроскопии комбинационного рассеяния света в кратерах плавления около области воздействия. Обнаружено, что течение расплавленного материала, индуцированное электрическим током, сопровождается образованием и движением массива сферических наночастиц в кратере плавления по его периферии. Предполагается, что реакция окисления хрома и поверхностное натяжение расплавленного материала на кремниевой подложке объясняют формирование массива нанокапель материала при сравнительно малых плотностях токах. |
Ключевые слова | хром |
тонкие пленки электрический ток наноплавление образование наносфер атомная силовая микроскопия сканирующая электронная микроскопия спектроскопия комбинационного рассеяния света фазовые переходы поверхностные фазовые переходы |
|
Другие авторы | Kumar, P. |
Иржак, А. В. Kumar, S. Pratap, R. Гратовски, С. В. фон Шавров, В. Г. Коледов, В. В. |
|
Название источника | Физика твердого тела |
Место и дата издания | 2020 |
Прочая информация | Т. 62, вып. 6. - С. 880-884 |
Имя макрообъекта | Sharma_плавление |
Тип документа | b |