Поиск

Плавление и электромиграция в тонких пленках хрома

Авторы: Sharma, M. Kumar, P. Иржак, А. В. Kumar, S. Pratap, R. Гратовски, С. В. фон Шавров, В. Г. Коледов, В. В.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/673631189
Дата корректировки 16:06:57 6 мая 2021 г.
Служба первич. каталог. Войтик
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 539.21
Sharma, M.
Плавление и электромиграция в тонких пленках хрома
Электронный ресурс
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 20 назв.
Аннотация Пленки хрома толщиной 10-40nm, нанесенные на кремниевые подложки при помощи магнетронного осаждения, были подвергнуты воздействию электрического тока, индуцированного зондом атомно-силового микроскопа (АСМ) в воздушной среде при нормальных условиях. Плавление на наноуровне, миграция материала, вызванная электрическим током и химическая реакция окисления хрома были исследованы с помощью оптической и сканирующей электронной микроскопии (СЭМ), атомной силовой микроскопии (АСМ) и спектроскопии комбинационного рассеяния света в кратерах плавления около области воздействия. Обнаружено, что течение расплавленного материала, индуцированное электрическим током, сопровождается образованием и движением массива сферических наночастиц в кратере плавления по его периферии. Предполагается, что реакция окисления хрома и поверхностное натяжение расплавленного материала на кремниевой подложке объясняют формирование массива нанокапель материала при сравнительно малых плотностях токах.
Ключевые слова хром
тонкие пленки
электрический ток
наноплавление
образование наносфер
атомная силовая микроскопия
сканирующая электронная микроскопия
спектроскопия комбинационного рассеяния света
фазовые переходы
поверхностные фазовые переходы
Другие авторы Kumar, P.
Иржак, А. В.
Kumar, S.
Pratap, R.
Гратовски, С. В. фон
Шавров, В. Г.
Коледов, В. В.
Название источника Физика твердого тела
Место и дата издания 2020
Прочая информация Т. 62, вып. 6. - С. 880-884
Имя макрообъекта Sharma_плавление
Тип документа b