| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/671900669 |
| Дата корректировки | 15:15:48 16 апреля 2021 г. |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Абдуллин, Х. А. | |
| Электрические, оптические и фотолюминесцентные свойства пленок ZnO при термическом отжиге и обработке в водородной плазме | |
| The electrical, optical and photoluminescence properties of ZnO films upon thermal annealing and treatment in hydrogen plasma | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 16 назв. |
| Аннотация | Исследованы спектры фотолюминесценции и оптического поглощения, электрические свойства пленок ZnO, выращенных методом MOCVD и гидротермальным методом, при термических обработках и плазменной обработке в водородной атмосфере. Показано, что адсорбция кислорода на границах зерен, происходящая при отжиге в окислительной атмосфере, определяет электрические свойства пленок. Отжиг в вакууме улучшает электрические свойства образцов после деградации, вызванной отжигом на воздухе, обработка в водородной плазме пассивирует поверхностные состояния на границах зерен. Интенсивность собственной фотолюминесценции после плазменной обработки тем выше, чем больше количество кислорода, адсорбированного на поверхность зерен во время отжига на воздухе. Поверхностные состояния, включающие атомы водорода и кислорода, ответственны за появление интенсивной полосы собственной фотолюминесценции. |
| Ключевые слова | водородная плазма |
|
оксид цинка спектры фотолюминесценции фотолюминесценция оптическое поглощение поликристаллические пленки |
|
|
Габдуллин, М. Т. Гриценко, Л. В. Исмаилов, Д. В. Калкозова, Ж. К. Кумеков, С. Е. Мукаш, Ж. О. Сазонов, А. Ю. Теруков, Е. И. |
|
| Название источника | Физика и техника полупроводников |
| Место и дата издания | 2016 |
| Прочая информация | Т. 50, вып. 8. - С. 1030-1035 |
| Имя макрообъекта | Абдуллин_электрические |
| Тип документа | b |
