| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/671879004 |
| Дата корректировки | 9:11:58 16 апреля 2021 г. |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Зимин, С. П. | |
|
Изменение проводимости тонких пленок селенида свинца после плазменного травления Электронный ресурс |
|
| Change of lead selenide thin films conductivity after plasma etching | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 20 назв. |
| Аннотация | Проведено изучение электропроводности тонких эпитаксиальных пленок n-PbSe и p-PbSe после процесса сухого травления в аргоновой плазме высокочастотного индукционного разряда низкого давления при энергии бомбардирующих ионов 200 эВ. Показано, что наблюдаемые изменения хорошо объясняются в рамках классической модели возникновения радиационных дефектов донорного типа, а процессы пострадиационного отжига в вакууме приводят к устранению таких дефектов. В рамках теории Фукса-Зондгеймера определены величины длины свободного пробега носителей заряда в пленках p-PbSe, которые при комнатной температуре составили 16 и 32 нм для параметра зеркальности 0 и 0.5 соответственно. |
| Ключевые слова | селенид свинца |
|
плазменное травление эпитаксиальные пленки электропроводность тонких пленок теория Фукса-Зондгеймера полупроводники |
|
|
Амиров, И. И. Наумов, В. В. |
|
| Название источника | Физика и техника полупроводников |
| Место и дата издания | 2016 |
| Прочая информация | Т. 50, вып. 8. - С. 1146-1150 |
| Имя макрообъекта | Зимин_изменение |
| Тип документа | b |
