Поиск

Оценка эффективности введения пористого слоя в подложку структур кремний-на-сапфире для повышения надежности приборов при облучении

Авторы: Александров, П. А. Баранова, Е.К. Бударагин, В. В.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Оценка эффективности введения пористого слоя в подложку структур кремний-на-сапфире для повышения надежности приборов при облучении
Электронный ресурс
Ключевые слова кремний-на-сапфире
Физика и техника полупроводников
2016
Т. 50, вып. 8. - С. 1128-1132
Имя макрообъекта Александров_оценка