Индекс УДК | 621.315.592 |
Оценка эффективности введения пористого слоя в подложку структур кремний-на-сапфире для повышения надежности приборов при облучении Электронный ресурс |
|
Ключевые слова | кремний-на-сапфире |
Физика и техника полупроводников 2016 Т. 50, вып. 8. - С. 1128-1132 |
|
Имя макрообъекта | Александров_оценка |