| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/670763136 |
| Дата корректировки | 11:23:40 3 апреля 2021 г. |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Канарейкин, А. Г. | |
|
Влияние высокотемпературного отжига на ориентацию вектора униполярности в тонких пленках цирконата-титаната свинца Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 34 назв. |
| Аннотация | Рассматриваются причины изменения ориентации вектора естественной униполярности в результате нагревания до температуры Кюри тонкопленочного конденсатора Pt/PZT/Pt (PZT - цирконат-титанат свинца), сформированного на подложке TiO[2]/SiO[2]/Si. Тонкие слои PZT, содержащие незначительный избыток оксида свинца, сформированы ex situ методом высокочастотного магнетронного распыления при вариации температуры отжига (кристаллизации фазы перовскита) в диапазоне 580-650°C. Предполагается, что реориентация вектора униполярности в слое PZT вызвана сменой механизма кристаллизации фазы перовскита с ростом температуры отжига. |
| Ключевые слова | пленки |
|
тонкие пленки цирконата-титаната свинца вектор униполярности отжиг высокотемпературный отжиг |
|
| Другие авторы | Каптелов, Е. Ю. |
|
Сенкевич, С. В. Пронин, И. П. Сергиенко, А. Ю. Сергеева, О. Н. |
|
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2016 |
| Прочая информация | Т. 58, вып. 11. - С. 2242-2247 |
| Имя макрообъекта | Канарейкин_влияние |
| Тип документа | b |
