Маркер записи | n 22 3 4500 |
Контрольный номер | zhps20_to87_no3_ss448_ad1 |
Дата корректировки | 13:05:46 30 марта 2021 г. |
Кодируемые данные | 210303s2020||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
Системный контрольный номер | RUMARS-zhps20_to87_no3_ss448_ad1 |
AR-MARS | |
Служба первич. каталог. |
Научная библиотека им. М. М. Бахтина Мордовского госуниверситета им. Н. П. Огарева МАРС |
Код языка каталог. | rus |
Код языка издания |
rus rus |
Индекс УДК |
539.2 535.33 |
Индекс ББК |
22.37 22.344 |
Таблицы для массовых библиотек Таблицы для массовых библиотек |
|
Базаров, В. В. 070 |
|
Модификация оптических характеристик пленок полиамида имплантацией ионов кобальта В. В. Базаров, Ю. А. Бумай, В. Ф. Валеев [и др.] |
|
Текст | |
непосредственный | |
Библиография | Библиогр.: с. 452-453 (18 назв. ) |
Аннотация | Представлены спектральные зависимости коэффициентов пропускания и отражения в диапазоне длин волн 200-1100 нм пленок полиамида толщиной 40 мкм, имплантированных ионами кобальта с энергией 40 кэВ в интервале доз 2. 5 * 10{16}-1. 5 * 10{17}см {- 2} при плотности тока в ионном пучке 4 мкА/см2. Имплантация приводит к существенному (до 80 %) уменьшению пропускания имплантированными пленками и увеличению отражения как имплантированной, так и неимплантированной стороной вследствие карбонизации приповерхностного слоя и формирования в нем включений кобальта. В рамках двух- и трехслойной моделей, включающих в себя один или два модифицированных слоя и неповрежденную часть пленки, проведено моделирование прохождения света при падении на имплантированную и неимплантированную стороны и определена дозовая зависимость эффективного показателя преломления модифицированного слоя, который в исследуемом интервале доз изменяется в пределах 1. 3-2. 1. |
Физика AR-MARS Физика твердого тела. Кристаллография в целом AR-MARS Спектроскопия AR-MARS |
|
Ключевые слова |
имплантация ионов кобальта имплантирование ионами кобальта кобальт отражение пленки полиамид преломление модифицированного слоя пропускание имплантированными пленками |
Бумай, Ю. А. 070 Валеев, В. Ф. 070 Головчук, В. И. 070 Лукашевич, М. Г. 070 Нуждин, В. И. 070 Оджаев, В. Б. 070 Харченко, А. А. 070 Хайбуллин, Р. И. 070 |
|
ISSN | 0514-7506 |
Название источника | Журнал прикладной спектроскопии |
Место и дата издания | 2020 |
Прочая информация | Т. 87, № 3. - С. 448-453 |
RU 43013090 20210303 RCR |
|
RU 43013090 20210303 |
|
RU AR-MARS 20210303 RCR |
|
RU AR-MARS 20210303 |
|
Тип документа | b |
code year to no ss ad |
|
zhps 2020 87 3 448 1 |
|
718 |