Поиск

Модификация оптических характеристик пленок полиамида имплантацией ионов кобальта

Авторы: Базаров, В. В. Бумай, Ю. А. Валеев, В. Ф. Головчук, В. И. Лукашевич, М. Г. Нуждин, В. И. Оджаев, В. Б. Харченко, А. А. Хайбуллин, Р. И.
Краткая информация
Маркер записи n 22 3 4500
Контрольный номер zhps20_to87_no3_ss448_ad1
Дата корректировки 13:05:46 30 марта 2021 г.
Кодируемые данные 210303s2020||||RU|||||||||||#||||# rus0|
Системный контрольный номер RUMARS-zhps20_to87_no3_ss448_ad1
AR-MARS
Служба первич. каталог. Научная библиотека им. М. М. Бахтина Мордовского госуниверситета им. Н. П. Огарева
МАРС
Код языка каталог. rus
Код языка издания rus
rus
Индекс УДК 539.2
535.33
Индекс ББК 22.37
22.344
Таблицы для массовых библиотек
Таблицы для массовых библиотек
Базаров, В. В.
070
Модификация оптических характеристик пленок полиамида имплантацией ионов кобальта
В. В. Базаров, Ю. А. Бумай, В. Ф. Валеев [и др.]
Текст
непосредственный
Библиография Библиогр.: с. 452-453 (18 назв. )
Аннотация Представлены спектральные зависимости коэффициентов пропускания и отражения в диапазоне длин волн 200-1100 нм пленок полиамида толщиной 40 мкм, имплантированных ионами кобальта с энергией 40 кэВ в интервале доз 2. 5 * 10{16}-1. 5 * 10{17}см {- 2} при плотности тока в ионном пучке 4 мкА/см2. Имплантация приводит к существенному (до 80 %) уменьшению пропускания имплантированными пленками и увеличению отражения как имплантированной, так и неимплантированной стороной вследствие карбонизации приповерхностного слоя и формирования в нем включений кобальта. В рамках двух- и трехслойной моделей, включающих в себя один или два модифицированных слоя и неповрежденную часть пленки, проведено моделирование прохождения света при падении на имплантированную и неимплантированную стороны и определена дозовая зависимость эффективного показателя преломления модифицированного слоя, который в исследуемом интервале доз изменяется в пределах 1. 3-2. 1.
Физика
AR-MARS
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
AR-MARS
Спектроскопия
AR-MARS
Ключевые слова имплантация ионов кобальта
имплантирование ионами кобальта
кобальт
отражение
пленки
полиамид
преломление модифицированного слоя
пропускание имплантированными пленками
Бумай, Ю. А.
070
Валеев, В. Ф.
070
Головчук, В. И.
070
Лукашевич, М. Г.
070
Нуждин, В. И.
070
Оджаев, В. Б.
070
Харченко, А. А.
070
Хайбуллин, Р. И.
070
ISSN 0514-7506
Название источника Журнал прикладной спектроскопии
Место и дата издания 2020
Прочая информация Т. 87, № 3. - С. 448-453
RU
43013090
20210303
RCR
RU
43013090
20210303
RU
AR-MARS
20210303
RCR
RU
AR-MARS
20210303
Тип документа b
code
year
to
no
ss
ad
zhps
2020
87
3
448
1
718