Поиск

Оптические характеристики антиотражающих покрытий на основе Al[2]O[3]-SiО[2] для кремниевых солнечных элементов

Авторы: Сулейманов, С. Х. Гременок, В. Ф. Хорошко, В. В. Иванов, В. А. Дыскин, В. Г. Джанклич, М. У. Кулагина, Н. А.
Подробная информация
Индекс УДК 535.33
Оптические характеристики антиотражающих покрытий на основе Al[2]O[3]-SiО[2] для кремниевых солнечных элементов
С. Х. Сулейманов, В. Ф. Гременок, В. В. Хорошко [и др.]
Аннотация Представлены результаты моделирования, получения и исследования интегрального коэффициента отражения (RS) однослойных композиционных антиотражающих покрытий Al[2]O[3]–SiО[2] для кремниевых солнечных элементов с интегральным коэффициентом отражения R[S] E 10 %. Показано, что при концентрациях Al[2]O[3] = 52-84 мас. % и SiO[2] = 16-48 мас. % и толщине 53-97 нм минимальные значения для Al[2]O[3] R[S] = 73-77 %, для SiO[2] R[S] = 27-23 % и толщине 69-75 нм. Экспериментально показано, что для слоев Al[2]O[3]: SiO[2] = 75: 25 % толщиной 72 нм R[S] = 3. 53 %, что примерно в два раза ниже, чем R[S] для покрытия S[i3]N[4].
Название источника Журнал прикладной спектроскопии
Место и дата издания 2020
Прочая информация Т. 87, № 4. - С. 667-671