| Индекс УДК | 546 |
|
Контроль степени ректификационной очистки неорганических гидридов методом абсорбционной диодной лазерной спектроскопии Я. Я. Понуровский, Д. Б. Ставровский, Ю. П. Шаповалов [и др.] |
|
| Аннотация | Приведены результаты применения метода диодной лазерной спектроскопии (ДЛС) для определения газообразных примесей СО[2], Н[2]О, СН[4], C[2]H[2], C[2]H[4], NH[3] и др. в процессе низкотемпературной ректификационной очистки газообразных гидридов. Разработана линейка приборов и методов непрерывного определения примесей при очистке гидридов: NH[3], AsH[3], РН[3], SiH[4]. Источниками ИК-излучения служат диодные лазеры (ДЛ) с распределенной обратной связью с выходом излучения в одномодовое оптоволокно. ДЛ перекрывают ближний ИК-диапазон от 0. 7 до 2. 0 мкм, где находятся полосы поглощения обертонов и составных частот исследуемых примесей. Системы обладают высокой чувствительностью и быстродействием при измерении концентрации примеси. Благодаря компактности и низкому энергопотреблению они легко встраиваются в технологическое оборудование (в узлы ректификационной колонны) и позволяют проводить непрерывный долговременный контроль степени очистки гидридов. Описаны методы измерения концентрации газообразных примесей с использованием традиционной дифференциальной абсорбционной спектроскопии высокого разрешения, а также новые модуляционно-корреляционные подходы при регистрации слабого молекулярного поглощения определяемой примеси на фоне сильного селективного поглощения излучения матричным веществом (исследуемым гидридом). Приведены результаты технологических экспериментов по низкотемпературной ректификации гидридов и степени их очистки от примесей с использованием метода ДЛС. |
| Название источника | Неорганические материалы |
| Место и дата издания | 2020 |
| Прочая информация | Т. 56, № 12. - С. 1356-1361 |
|
https://sciencejournals.ru/journal/neorgmat/ https://www.elibrary.ru/item.asp?id=44220223 |
