Поиск

Хромато-масс-спектрометрический анализ высокочистого силана естественного и изотопно обогащенного состава

Авторы: Созин, А. Ю. Крылов, В. А. Чернова, О. Ю. Сорочкина, Т. Г. Буланов, А. Д. Трошин, О. Ю. Котков, А. П. Гришнова, А. Д. Скосырев, А. И.
Подробная информация
Индекс УДК 547
Хромато-масс-спектрометрический анализ высокочистого силана естественного и изотопно обогащенного состава
А. Ю. Созин, В. А. Крылов, О. Ю. Чернова [и др.]
Аннотация Исследован примесный состав естественного и изотопно обогащенного силана, полученного из силицида магния и тетрафторида кремния с применением метода хромато-масс-спектрометрии. Примесями, характерными для силана с естественным и изтопно обогащенным составом, являются атмосферные газы, предельные, непредельные, ароматические углеводороды, гидриды, соединения серы, гомологи и алкилпроизводные силана.
Название источника Журнал аналитической химии
Место и дата издания 2020
Прочая информация Т. 75, № 11. - С. 1040-1048