| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Оптические и структурные свойства композитных слоев Si : Au, полученных лазерным электродиспергированием Электронный ресурс |
|
| Аннотация | Исследованы композитные слои Si-Au, полученные методом лазерного электродиспергирования с различными соотношениями Si : Au. Исследована микроскопическая структура слоев, измерены спектры комбинационного рассеяния света, оптического пропускания и отражения слоев. Показано, что распыление двухкомпонентной мишени Si-Au сильно изменяет морфологию слоев. С увеличением содержания золота в мишени слои становятся неоднородными, появляется большое количество включений, содержащих нанокристаллы кремния и некоторое количество золота. Включения при распылении двухкомпонентной мишени, скорее всего, образуются из больших расплавленных капель, вылетевших из мишени и не успевших разделиться до нанометровых размеров. Нанокристаллическая структура включений объяснена медленным и неоднородным процессом охлаждения частиц на подложке. Сделан вывод, что изменения спектров и фоточувствительности гетероструктур с исследованными слоями вызваны образованием включений, содержащих нанокристаллы кремния с добавлением золота. |
| Ключевые слова | кремний |
| Другие авторы | Левицкий, В. С. |
| Название источника | Физика и техника полупроводников |
| Место и дата издания | 2016 |
| Прочая информация | Т. 50, вып. 3. - С. 423-430 |
| Имя макрообъекта | Кен_оптические |
