| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/668614210 |
| Дата корректировки | 9:04:37 1 декабря 2021 г. |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Джумалиев, А. С. | |
|
Влияние полярности напряжения смещения подложки на текстуру, микроструктуру и магнитные свойства пленок Ni, получаемых магнетронным распылением Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 46 назв. |
| Аннотация | Для пленок Ni, получаемых магнетронным распылением при давлении рабочего газа P, соответствующем режиму пролета атомов распыленного материала мишени в области между мишенью и подложкой, близкому к бесстолкновительному, изучено влияние полярности напряжения смещения подложки U[s] на микроструктуру, кристаллографическую текстуру и магнитные свойства пленок толщиной d ~ 15-420 nm. Показано, что при U[s] ~ -100V формируются пленки с текстурой Ni(111), микроструктура и магнитные параметры которых почти не меняются с толщиной. При U[s] ~ +100V формируются пленки Ni(200), магнитные свойства и микроструктура которых существенно зависят от толщины d, что проявляется в наличии критической толщины d* ~ 150 nm, когда структура пленки по толщине становится неоднородной, петли перемагничивания изменяются от прямоугольных к закритическим и формируется полосовая доменная структура. |
|
пленки никеля получение пленок получение пленок магнетронным распылением напряжение смещения подложки |
|
| Другие авторы | Никулин, Ю. В. |
| Филимонов, Ю. А. | |
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2016 |
| Прочая информация | Т. 58, вып. 6. - С. 1206-1215 |
| Имя макрообъекта | Джумалиев_влияние |
| Тип документа | b |
