| Индекс УДК | 539.21 |
|
Газовыделение при термообработке пленок Pb(Ti[0.48]Zr[0.52])O[x] , полученных распылением Электронный ресурс |
|
| Аннотация | Методами термодесорбции, электронной и оптической микроскопии выявлены условия (режимы осаждения и термообработки) образования газовых пузырьков в сегнетоэлектрических пленках Pb(Ti[1-y] Zr[y] )O[3]. Предложен механизм образования пузырьков, заключающийся в том, что при относительно низких температурах свинец способен образовывать оксиды с большим содержанием кислорода (типа PbO[2]), распадающиеся с выделением кислорода до низшего оксида типа PbO при последующем нагреве. Развитые представления позволили разработать методику изготовления пленок Pb(Ti[1-y] Zr[y] )O[3] со сниженной на порядок плотностью сквозных дефектов. |
| Другие авторы | Ионов, А. М. |
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2016 |
| Прочая информация | Т. 58, вып. 6. - С. 1198-1205 |
| Имя макрообъекта | Знаменский_газовыделение |
