| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/668182644 |
| Дата корректировки | 8:34:56 1 декабря 2021 г. |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Джумалиев, А. С. | |
|
Осаждение текстурированных пленок NiFe(200) и NiFe(111) на подложки Si/SiO[2] магнетронным распылением на постоянном токе Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 21 назв. |
| Аннотация | Исследовано влияние температуры T[sub] и напряжения смещения U[bias] подложки на текстуру пленок NiFe с толщиной d ~ 30-340 nm, полученных магнетронным распылением на постоянном токе на подложках Si(111)/SiO[2] при давлении рабочего газа P ~ 0.2 Pa. Показано, что пленки, выращенные при комнатной температуре подложки, имеют текстуру (111), которая улучшается при отрицательном напряжении смещения. Осаждение пленок на заземленную (U[bias] ~ 0) подложку, нагретую до температуры T[sub] ~ 440-640 K, приводит к формированию текстурированных пленок NiFe(200). |
|
пленки текстурированные пленки кремниевые подложки магнетронное распыление |
|
| Другие авторы | Никулин, Ю. В. |
| Филимонов, Ю. А. | |
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2016 |
| Прочая информация | Т. 58, вып. 5. - С. 1019-1023 |
| Имя макрообъекта | Джумалиев_осаждение |
| Тип документа | b |
