Индекс УДК |
548/549 661.2/.6 |
О структурном совершенстве слитков карбида кремния большого диаметра Ю. О. Быков, А. О. Лебедев, М. П. Щеглов |
|
Аннотация | Модифицированным методом Лели (методом ЛЭТИ) на затравках диаметром 100 мм выращены слитки карбида кремния политипа 4H высокого структурного совершенства. На основе собственных экспериментальных данных и теоретического анализа систематизированы главные факторы, приводящие к деградации кристаллической структуры выращенных слитков в процессе роста. Показано, что появление на ранних стадиях роста паразитных политипных включений приводит к возникновению в слитке антифазных границ и блочной субструктуры. |
Название источника | Неорганические материалы |
Место и дата издания | 2020 |
Прочая информация | Т. 56, № 9. - С. 979-985 |
https://sciencejournals.ru/journal/neorgmat/ https://elibrary.ru/item.asp?id=43795241 |