Поиск

О структурном совершенстве слитков карбида кремния большого диаметра

Авторы: Быков, Ю. О. Лебедев, А. О. Щеглов, М. П.
Подробная информация
Индекс УДК 548/549
661.2/.6
О структурном совершенстве слитков карбида кремния большого диаметра
Ю. О. Быков, А. О. Лебедев, М. П. Щеглов
Аннотация Модифицированным методом Лели (методом ЛЭТИ) на затравках диаметром 100 мм выращены слитки карбида кремния политипа 4H высокого структурного совершенства. На основе собственных экспериментальных данных и теоретического анализа систематизированы главные факторы, приводящие к деградации кристаллической структуры выращенных слитков в процессе роста. Показано, что появление на ранних стадиях роста паразитных политипных включений приводит к возникновению в слитке антифазных границ и блочной субструктуры.
Название источника Неорганические материалы
Место и дата издания 2020
Прочая информация Т. 56, № 9. - С. 979-985
https://sciencejournals.ru/journal/neorgmat/
https://elibrary.ru/item.asp?id=43795241