Индекс УДК | 543.4/.5 |
Коррозия в растворах минеральных кислот тонких пленок Ti-B-N, полученных методом реактивного магнетронного напыления И. И. Коробов, Г. В. Калинников, А. В. Иванов [и др.] |
|
Аннотация | Исследовано взаимодействие тонких пленок Ti–B–N, полученных методом магнетронного реактивного распыления мишени TiB[2] в атмосфере газовой аргон–азотной смеси (85 об. % Ar + 15 об. % N[2]), с минеральными кислотами (HCl, H[2]SO[4], H[3]PO[4], HNO[3]). Установлено, что образующийся в процессе напыления, наряду с нитридом титана, гексагональный нитрид бора образует стойкую защитную пленку, предохраняющую основную массу (~85%) пленки от коррозии. |
Название источника | Физикохимия поверхности и защита материалов |
Место и дата издания | 2020 |
Прочая информация | Т. 56, № 5. - С. 557-560 |