Поиск

Коррозия в растворах минеральных кислот тонких пленок Ti-B-N, полученных методом реактивного магнетронного напыления

Авторы: Коробов, И. И. Калинников, Г. В. Иванов, А. В. Дремова, Н. Н. Бельмесов, А. А. Шилкин, С. П.
Подробная информация
Индекс УДК 543.4/.5
Коррозия в растворах минеральных кислот тонких пленок Ti-B-N, полученных методом реактивного магнетронного напыления
И. И. Коробов, Г. В. Калинников, А. В. Иванов [и др.]
Аннотация Исследовано взаимодействие тонких пленок Ti–B–N, полученных методом магнетронного реактивного распыления мишени TiB[2] в атмосфере газовой аргон–азотной смеси (85 об. % Ar + 15 об. % N[2]), с минеральными кислотами (HCl, H[2]SO[4], H[3]PO[4], HNO[3]). Установлено, что образующийся в процессе напыления, наряду с нитридом титана, гексагональный нитрид бора образует стойкую защитную пленку, предохраняющую основную массу (~85%) пленки от коррозии.
Название источника Физикохимия поверхности и защита материалов
Место и дата издания 2020
Прочая информация Т. 56, № 5. - С. 557-560