| Индекс УДК | 667 |
|
Использование метода атомно-слоевого осаждения для получения тонких пленок на основе LiMn[2]O[4] и LiFePO[4] О. Ю. Ганц, В. М. Кяшкин, А. Д. Юдина [и др.] |
|
| Аннотация | В работе установлено, что с помощью атомно-слоевого осаждения могут быть получены наноразмерные пленки из LiMn[2]O[4] и LiFePO[4]. Показано, что комбинируя параметры процесса, можно получить наноразмерный материал заданного фазового состава и толщины. Фазовый состав пленок, полученных методом атомно-слоевого осаждения, был исследован с использованием ряда физических методов. |
| Название источника | Известия вузов. Химия и химическая технология |
| Место и дата издания | 2020 |
| Прочая информация | Т. 63, вып. 9. - С. 77-81 |
