|
Аннотация
|
Представлен метод контроля толщины покрытия, основанный на использовании широкополосного спектрального мониторинга. Разработано поляризующее покрытие, функционирующее на лябюда = 1550 нм при угле падения света 45?. Оптимизированная структура покрытия содержит 59 слоев, не являющихся четвертьволновыми. На стадии подготовки образца с целью оценки преимуществ метода широкополосного спектрального мониторинга выполнен анализ погрешностей. Поляризующее покрытие нанесено методом ионно-лучевого напыления с использованием оптимизированного метода мониторинга. Осуществлен реверс-инжиниринг изготовленного покрытия. Получено хорошее соответствие измеренного пропускания с теоретически предсказанным, причем максимальное отклонение между ними в первых и последних двух слоях ~10%, а минимальное ~0. 01%. |
