| Индекс УДК | 544.72 |
|
Структура и свойства сенсоров сероводорода на основе тонких пленок диоксида олова Максимова Н. К., Бирюков А. А., Севастьянов Е. Ю., Черников Е. В. |
|
| Аннотация | Исследованы структурные, электрические и газочувствительные характеристики тонкопленочного (~100 нм) диоксида олова, содержащего в объеме примеси Sb, Au, Ni и дисперсные кластеры Au на поверхности. Показано, что для пленок, полученных методом магнетронного напыления, размер зерен SnO[2] составляет порядка 40-125 нм, а введение Au на этапе синтеза приводит к выделению его в виде наноразмерных включений второй фазы. Датчики имеют высокую чувствительность к H[2]S в широком интервале концентраций 0. 5-100 ppm. Установлено, что эксплуатация сенсоров в режиме термоциклирования позволяет в цикле охлаждения получать повышенные отклики на низкие концентрации <5 ppm H[2]S. |
| Название источника | Журнал прикладной химии |
| Место и дата издания | 2020 |
| Прочая информация | Т. 93, вып. 3. - С. 414-424 |
