| Маркер записи | n 22 7 4500 |
| Дата корректировки | 16:02:33 13 октября 2015 г. |
| rus | |
| BY | |
| 661.665.3 | |
| 01-00 | |
| Григорьев Ю.М. | |
| Кинетика CVD-процессов при получении композиционных керамических пленок на основе нитридов и карбидов кремния | |
| Ил.4 | |
| Библиогр.: 10 назв. | |
|
композиционные керамические пленки нитрид кремния карбид кремния |
|
|
Чижов П.Е. Чуканов Н.В. |
|
|
Неорганические материалы 1999 Т.35,№ 11.-С.1402-1406 |
