| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | zpch19_to92_vy10_ss1263_ad1 |
| Дата корректировки | 11:33:34 1 ноября 2019 г. |
| Кодируемые данные | 191003s2019||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-zpch19_to92_vy10_ss1263_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Казанский национальный исследовательский технологический университет, Учебно-научный информационный центр МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 544.6 |
| Индекс ББК | 24.57 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Минкин, А. М. 070 z01710 |
|
|
Влияние профиля выработки мишени на свойства пленок молибдена [Текст] А. М. Минкин [и др.] |
|
| Аннотация | Исследовано влияние профиля зоны распыления мишени на структуру и свойства пленок молибдена, полученных магнетронным распылением при стабилизации разряда по току и мощности. Показано, что полученные пленки характеризуются текстурой (110) и столбчатой микроструктурой по толщине. Изучены физико-механические свойства пленок (твердость, упругопластические характеристики). Наблюдается снижение пластичности пленок молибдена при увеличении выработки мишени. Показана взаимосвязь между параметрами осаждения пленки и скоростью ее анодного растворения в кислой среде с точки зрения микроструктуры молибдена. |
|
Химия AR-MARS Электрохимия AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
магнетронное распыление молибден осаждение пленки пленки молибдена упругопластические характеристики |
|
Медведева, Н. А. 070 z02710 Ларионов, Д. Д. 070 z03710 Кетов, А. А. 070 z04710 Вайсман, Я. И. 070 z05710 |
|
|
Пермская научно-производственная приборостроительная компания z01700 Вторичная ответственность Пермский государственный национальный исследовательский университет z02700 Вторичная ответственность Пермская научно-производственная приборостроительная компания z03700 Вторичная ответственность Пермский национальный исследовательский политехнический университет z04700 Вторичная ответственность Пермский национальный исследовательский политехнический университет z05700 Вторичная ответственность |
|
| ISSN | 0044-4618 |
| Название источника | Журнал прикладной химии |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 92, вып. 10. - С. 1263-1270 |
|
RU 42013534 20191003 RCR |
|
|
RU 42013534 20191003 |
|
|
RU AR-MARS 20191003 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20191003 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to vy ss ad |
|
|
zpch 2019 92 10 1263 1 |
|
| 12807 | |
| Неорганический синтез и технология неорганических производств |
