| Индекс УДК | 544.1 |
|
Характеристики фазового перехода в пленках диоксида ванадия, полученных химическим осаждением из газовой фазы [Текст] Шаяпов В. Р., Яковкина Л. В. |
|
| Аннотация | Исследованы изменения характеристик фазового перехода полупроводник-металл в поликристаллических пленках VO[2], полученных методом химического осаждения из паров ацетилацетоната ванадила и кислорода при вариации температуры синтеза от 373 до 473°C и давления кислорода в исходной газовой смеси от 25 до 90 ст. см3/мин. |
| Название источника | Журнал физической химии |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 93, № 8. - С. 1153-1158 |
