Поиск

Применение щелочного стекла в конструкциях микромеханических датчиков

Авторы: Пауткин, В. Е.
Краткая информация
Маркер записи n 22 3 4500
Контрольный номер stik19_no4_ss28_ad1
Дата корректировки 12:59:08 13 мая 2025 г.
Кодируемые данные 190514s2019||||RU|||||||||||#||||# rus0|
Системный контрольный номер RUMARS-stik19_no4_ss28_ad1
AR-MARS
Служба первич. каталог. Научно-техническая библиотека Российского Федерального Ядерного центра - Всероссийского научно-исследовательского института технической физики им. акад. Е. И. Забабахина
МАРС
BY-HM0026
Код языка каталог. rus
Код языка издания rus
Индекс УДК 666.3/.7
Индекс ББК 35.43
Таблицы для массовых библиотек
61.35.31
Пауткин, В. Е.
z01710
070
Применение щелочного стекла в конструкциях микромеханических датчиков
[Текст]
В. Е. Пауткин
Иллюстрации/ тип воспроизводства 5 рис.
Библиография Библиогр.: с. 31 (7 назв.)
Аннотация Представлено применение щелочного стекла в конструкции микромеханических датчиков, в частности акселерометров. Щелочное стекло используется в конструкции чувствительных элементов указанных приборов.
Химическая технология
AR-MARS
Стекло и стеклоизделия
AR-MARS
Ключевые слова акселерометры
микромеханические датчики
чувствительные элементы
щелочное стекло
электростатические соединения
АО "Научно-исследовательский институт физических измерений"
z01100
Пенза (Россия)
Вторичная ответственность
ISSN 0131-9582
Название источника Стекло и керамика
Место и дата издания 2019
Прочая информация № 4. - С. 28-31
RU
45642206
20190514
RCR
RU
45642206
20190514
RU
AR-MARS
20190517
RCR
RU
AR-MARS
20190517
Тип документа b
code
year
no
ss
ad
stik
2019
4
28
1
965
На предприятиях и в институтах