| Индекс УДК | 543.4/.5 |
|
Исследование стабильности ряда молекулярных примесей в моносилане [Текст] А. Ю. Созин [и др.] |
|
| Аннотация | Методом хроматомасс-спектрометрии проведено исследование стабильности примесей углеводородов С[1]-С[7], фтор-, хлорпроизводных углеводородов, алкилпроизводных силана, гомологов моносилана, силоксанов в моносилане при его хранении в ампулах из молибденового стекла и баллонах из нержавеющей стали. Установлено, что при хранении в стеклянных ампулах происходит уменьшение концентрации примесей этилена и тетрафторэтилена и увеличение концентрации этилсилана и дисилана. При хранении моносилана в баллоне из нержавеющей стали установлено изменение концентрации присутствующей в нем примеси ацетилена. |
| Название источника | Журнал прикладной химии |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 92, вып. 4. - С. 436-441 |
