Индекс УДК | 621.7 |
Структура, механические свойства и жаростойкость покрытий ZrB[2], ZrSiB и ZrSiB/SiBC [Текст] Ф. В. Кирюханцев-Корнеев [и др.] |
|
Аннотация | Методом магнетронного напыления получены однослойные покрытия ZrB[2], ZrSiB и многослойные ZrSiB/SiBC. Структура покрытий исследована с применением рентгенофазового анализа, растровой электронной микроскопии и оптической эмиссионной спектроскопии тлеющего разряда. Механические свойства покрытий определены с помощью метода наноиндентирования. Исследована жаростойкость и термическая стабильность покрытий в диапазоне температур 600–1200°С. Введение кремния в состав однослойных покрытий ZrB[2] привело к уменьшению размера кристаллитов гексагональной фазы ZrB[2] с 8 до 2 нм. Применение кремнийсодержащих слоев приводило к полной аморфизации структуры в случае многослойных покрытий ZrSiB/SiBC. Установлено, что покрытия ZrB[2] обладают наибольшими механическими свойствами: твердостью 37 ГПа, модулем упругости 400 ГПа и упругим восстановлением 73%. Наибольшую жаростойкость имели покрытия ZrSiB, которые кратковременно сопротивлялись окислению до температуры 1500°С включительно, что было обусловлено формированием на их поверхности защитной пленки на основе SiO[2]. |
Название источника | Физикохимия поверхности и защита материалов |
Место и дата издания | 2018 |
Прочая информация | Т. 54, № 6. - С. 602-612 |