| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | nani18_no7/8_ss534_ad1 |
| Дата корректировки | 10:58:26 26 декабря 2018 г. |
| Кодируемые данные | 181210s2018||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-nani18_no7/8_ss534_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Тверская областная универсальная научная библиотека им. А. М. Горького МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus eng |
| Индекс УДК |
622.34 621.38 |
| Индекс ББК |
33.33 32.85 |
|
Таблицы для массовых библиотек Таблицы для массовых библиотек |
|
|
Петраков, Д. С. 070 |
|
|
Анализ структурных свойств и параметров объектов с использованием комплексного подхода обработки данных рентгенооптических измерений [Текст] Д. С. Петраков [и др.] |
|
|
The analysis of structural properties and parameters of objectsusing an integrated approach to processing x-ray optical measurement eng |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил.: 5 рис., 2 табл. |
| Библиография | Библиогр.: с. 541 (9 назв.) |
| Аннотация | Планируется адаптация к методам рентгеноспектрального и рентгеноструктурного анализа для исследования элементного и фазового состава, включая анализ рудных полезных ископаемых. |
|
Горное дело AR-MARS Разработка месторождений рудных полезных ископаемых AR-MARS Радиоэлектроника AR-MARS Электроника в целом AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
тонкопленочные микроэлектронные структуры тонкие пленки low-k-диэлектрики размерные параметры научные исследования себестоимость |
|
Герасименко, Н. Н. 070 Медетов, Н. Н. 070 Смирнов, Д. И. 070 Суюндуков, Р. А. 070 |
|
| ISSN | 1993-8578 |
| Название источника | Наноиндустрия |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | № 7/8. - С. 534-541 |
|
RU 17017092 20181210 RCR |
|
|
RU 17017092 20181210 |
|
|
RU AR-MARS 20181217 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20181217 |
|
| Тип документа | b |
|
code year no ss ad |
|
|
nani 2018 7/8 534 1 |
|
| 17104 | |
| Контроль и измерения | |
|
Petrakov, D. S. 070 Gerasimenko, N. N. 070 Medetov, N. A. 070 Smirnov, D. I. 070 Suyndukov, R. A. 070 |
