Индекс УДК |
543 54(091) |
Аналитика и аналитики Института проблем технологии микроэлектроники и особочистых материлов (ИПТМ РАН) [Текст] С. С. Гражулене |
|
Аннотация | Дана история создания, формирования и развития Института проблем технологии микроэлектроники РАН с 1963 года по настоящее время. |
Название источника | Журнал аналитической химии |
Место и дата издания | 2018 |
Прочая информация | Т. 73, № 4. - С. 308-313 |