| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Кинетика термомиграции в системах Si-Al-Ga и Si-Al-Sn [Текст] В. В. Кузнецов [и др.] |
|
| Аннотация | Исследованы термодинамические и кинетические особенности термомиграции жидких зон на основе расплавов Al-Ga и Al-Sn при получении кремниевых эпитаксиальных слоев. Установлены пороговые температуры начала термомиграции зон различного состава. Показано, что с увеличением концентрации Ga или Sn в жидкой фазе температура начала миграции монотонно возрастает. При этом скорость миграции зон Si-Al-Ga при температурах ниже 1473 К уменьшается с ростом концентрации галлия, а при более высоких температурах - возрастает. Скорость миграции зон Si-Al-Sn снижается с ростом концентрации олова во всем диапазоне температур. В рассматриваемых системах не обнаружены химические соединения, что упрощает в них реализацию метода термомиграции. |
| Название источника | Неорганические материалы |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 54, № 1. - С. 35-39 |
