| Индекс УДК | 546 |
|
Влияние условий синтеза пленок нитрида галлия на поверхностную сегрегацию [Текст] Ю. Я. Томашпольский, В. М. Матюк, Н. В. Садовская |
|
| Аннотация | Исследованы микро-, наноморфология и локальный состав пленок нитрида галлия GaN, синтезированных по четырем технологиям, с целью обнаружения автосегрегационных явлений. В результате установлена и обсуждена сложная картина автосегрегации. Независимо от технологии в пленках нитрида галлия выявлена нестехиометрия химического состава (дефицит галлия), степень нестехиометрии варьирует от ~ 0. 30 до < 0. 10. |
| Название источника | Неорганические материалы |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 54, № 1. - С. 29-34 |
