Поиск

Влияние атмосферы отжига на диффузию хрома в CVD-ZnSe

Авторы: Родин, С. А. Гаврищук, Е. М. Иконников, В. Б. Савин, Д. В.
Подробная информация
Индекс УДК 546
Влияние атмосферы отжига на диффузию хрома в CVD-ZnSe
[Текст]
С. А. Родин [и др.]
Аннотация Исследовано влияние условий высокотемпературного легирования поликристаллического селенида цинка на диффузию ионов Cr{2+}. Определены значения энергии активации процесса диффузии в интервале температур 900-1100 °C при отжиге в атмосфере аргона и парах цинка. Обсуждается механизм ускорения диффузии хрома при легировании в парах цинка.
Название источника Неорганические материалы
Место и дата издания 2018
Прочая информация Т. 54, № 1. - С. 24-28