| Индекс УДК | 658 |
|
Традиции и инновации в производстве российского технологического оборудования [Текст] Д. Гудилин |
|
| Аннотация | НИИТМ разрабатывает исследовательское и промышленное технологическое оборудование для нано- и микроэлектроники, МЭМС, фотоники, фотовольтаики и других передовых направлений. |
| Название источника | Наноиндустрия |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | № 2. - С. 126-130 |
