| Индекс УДК |
621.373/.374 539.2 |
|
Физические процессы в лазерном источнике ионов алюминия с управляемой энергией для нанесения нанопленок В. К. Гончаров, М. В. Пузырев, В. Ю. Ступакевич |
|
| Аннотация | Исследование физических процессов в лазерно-плазменном источнике ионов алюминия с регулируемой энергией для нанесения нанопленок. |
| Ключевые слова |
лазерные источники ионов лазерная плазма эрозионная лазерная плазма плазменные источники ионов нанопленки алюминий ионы алюминия лазерное излучение ионные потоки физические процессы |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | № 3. - С. 79-87 |
| Название источника | Журнал Белорусского государственного университета. Физика |
