| Индекс УДК | 539.2 |
|
Ионно-лучевое формирование нанокластеров ZnSe и ZnS в слоях диоксида кремния М. М. Моховиков [и др.] |
|
| Аннотация | Исследования в области создания новых светоизлучаемых приборов и структур на основе кремниевой технологии. |
| Ключевые слова |
ионная имплантация кристаллические нанокластеры полупроводники диоксиды кремния кластеры кристаллы |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 61, № 5. - С. 42-49 |
| Название источника | Доклады Национальной академии наук Беларуси |
