| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/570030068 |
| Дата корректировки | 9:33:56 16 февраля 2021 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.382 |
| Гудилин, Д. | |
|
Minimal Fab - взгляд в будущее полупроводниковой промышленности Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | фото |
|
Minimal fab полупроводники технология японская |
|
|
Наноиндустрия 2017 № 5(76). - С.14-17 |
|
| Тип документа | b |
